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マイクロテクノロジーラボ新設の概要

  • 栃木県産業技術センターに、航空機産業関連企業等の技術高度化を支援するための、マイクロテクノロジーラボを開設しました。
  • ラボには、航空機部品等に求められる精密高品位加工、複合・新機能材料及び表面処理等に係る技術開発、品質・信頼性評価に関連する加工・計測・分析等の機器を導入整備(既存機器含む)しました。
  • ラボの機器利用は上記分野以外でも、様々な企業の試作開発・品質評価等への利用に供する他、共同研究等に活用できます。

マイクロテクノロジーラボの提供する機能

加工・造形 切削・研削/特殊加工・表面処理
・切削、研削、レーザ等の加工機による部品、試作品の作製
寸法・
形状測定
接触測定/非接触測定
・歯車等の複雑形状部品・精密部品等の寸法測定/形状測定
・現物がある製品等の形状データ測定とCADデータ化
・CFRP等の難削材の加工工具・加工方法等の評価
物理試験・
信頼性検査
環境試験/材料物性試験/EMC/非破壊試験
・金属材料や表面処理部分の硬さ、品質等の評価
・温湿度・振動・電磁波等に対する部品モジュール、製品等の信頼性・規格適合性の評価
・溶接部、鋳造品等の欠陥検査、品質検査
化学分析・
観察
微細構造解析/無機・有機分析/組織観察
・Ti合金、耐熱鋼、表面処理部等の表面観察、元素分析、金属組織観察
・浸炭処理、窒化処理、めっき等を施した微細部分等の元素分析、観察
・付着物、異物、介在物等の分析・同定、観察

マイクロテクノロジーラボの主な機器

設置場所提供する機能機器名機器概要
A-1
(精密加工室)
加工・造形 小型ファイバーレーザ加工機  耐熱材など航空機等に用いられる難削材をレーザで微細加工する加工機
加工・造形 マシニングセンタ ドリル・エンドミルなどの回転工具を用いて、機械部品を切削する加工機
加工・造形 超精密加工機 チタン合金やNi系耐熱合金などを研削加工する試作開発に特化した加工機
A-2
(精密加工室)
加工・造形 3Dプリンタ 3Dデータから金属粉末(マルエージング鋼、ステンレス鋼)を原料とし部品等を迅速に造形する機器
B-1
(機械精密測定室)
寸法・形状測定 非接触輪郭形状測定機  従来の接触式測定機では対応できない微細で複雑な部品等の形状を測定する装置
寸法・形状測定 三次元レーザデジタイザ  航空機や自動車部品などの3次元曲面形状を高速に測定し、CADデータに変換して出力する非接触測定機
寸法・形状測定 三次元座標測定機  ポイント測定に加え、スキャニング測定可能な世界最高クラスの精度を誇る接触式のCNC三次元座標測定機
寸法・形状測定 表面粗さ測定機  高さ方向の大きな可動範囲と高い分解能で部品等の形状と表面粗さを一括して測定する装置
寸法・形状測定 真円度測定機  機械部品の軸や穴形状について、接触式検出器により円周方向・軸方向の半径の変化を測定する装置
C-1
(電波暗室)
物理試験・信頼性検査 イミュニティシステム  アンテナを用いて電子機器に電磁波を照射し、故障や誤動作が発生しないかを試験する装置
物理試験・信頼性検査 ベクトルネットワークアナライザ  電子部品等に高周波数の電気信号を入力し、その出力から電気的特性(反射・透過状態等)を測定する装置
C-2
(構造材料実験室)
物理試験・信頼性検査 低温恒温恒湿装置  温湿度を制御した槽内で、製品の耐久性を評価するために使用する装置
C-3
(塑性加工室)
物理試験・信頼性検査 複合環境試験装置  輸送機械等の部品に対し、運用時に受ける振動や熱ストレスを模擬的に与え、耐久性・信頼性を評価する装置
C-4
(機械材料試験室)
物理試験・信頼性検査 疲労試験機 材料に繰り返し負荷を加え金属疲労に対する信頼性を評価する装置 
C-5
(非破壊試験室)
物理試験・信頼性検査 X線CTスキャン  電子部品やアルミダイカスト等をX線により非破壊で内部構造を透視観察する装置
CT機能により3次元画像の撮影も可能
物理試験・信頼性検査 マイクロフォーカスX線透視検査装置 
物理試験・信頼性検査 X線透視検査装置  非破壊で内部を透視し、外観からは確認できない部品内部の欠陥の有無等について、検査する装置
C-6
(腐食・耐候試験室)
物理試験・信頼性検査 複合腐食試験機  部品等に連続的に塩水を噴霧し、腐食に対する耐久性(耐食性)を評価する装置
C-7
(機械材料物性試験室)
物理試験・信頼性検査  マイクロビッカース硬さ試験機 金属材料の微小領域におけるビッカース硬さを測定する装置
化学分析・観察 デジタル顕微鏡  試料表面の微細形状や異物を簡易に画面で拡大観察する顕微鏡
C-8
(新材料表面解析研究室)
物理試験・信頼性検査 微小部X線応力測定装置  結晶によるX線の回折現象を利用し、格子面間隔の変化量(歪)から残留応力を測定する装置
D-1
(材料分析研究室)
化学分析・観察 オージェ電子分光装置  電子部品等の試料表面から数十nmまでの深さの組成を分析する装置
化学分析・観察 X線光電子分光装置  試料表面にX線を照射し、放出される光電子を測定することで、試料表面の元素の組成、化学結合状態を分析する装置
D-2
(第二機器分析室)
物理試験・信頼性検査 スクラッチ試験装置  めっきなどの表面処理膜と基材の密着強度を測定する装置
物理試験・信頼性検査 超微小押込み硬さ試験機  薄膜や極表面層の硬さを、母材の影響を受けない領域において測定する装置
化学分析・観察 グロー放電発光分析装置  試料表面から内部にかけての連続的な元素の分布状態を分析する装置
D-3
(第一機器分析室)
化学分析・観察 走査型電子顕微鏡  電子線を試料に照射し、放出される二次電子等を検出することで試料表面の凹凸や組成分布の観察を行う顕微鏡
化学分析・観察 透過型電子顕微鏡  試料を透過した電子線が作る陰影を拡大することにより、像を観察する顕微鏡
化学分析・観察 電界放射型走査型電子顕微鏡  試料表面を電子線で走査し、放出される二次電子等を検出することで、表面形状を高分解能で観察する顕微鏡
化学分析・観察 X線マイクロアナライザー  波長分散型X線分析法により、精度良く微小部の元素の定性分析や面分析を行う装置
D-4
(第三機器分析室)
化学分析・観察 エネルギー分散型蛍光X線分析装置  試料にX線を照射し、発生する元素固有のエネルギーを計測することで、構成元素の種類や含有量を分析する装置
化学分析・観察 酸素窒素水素同時分析装置  金属材料の強度、もろさ等の材料特性や品質等に強く関係する酸素・窒素・水素の含有量を分析する装置
化学分析・観察 プラズマ発光分析装置  ICP(誘導結合プラズマ)を光源とし、溶液試料中に含まれる元素を定性分析、定量分析する装置
D-5
(高分子分析試験室)
化学分析・観察 ガスクロマトグラフ質量分析計(熱分解用)  試料を加熱し、発生するガスを成分ごとに分離し、定性する装置
D-6
(金属組織試験室)
化学分析・観察 金属顕微鏡  対物レンズをとおして光を投射し、金属試料表面からの反射光による金属組織像を拡大観察する顕微鏡(樹脂埋込装置、自動研磨装置等により試料を作製)
化学分析・観察 樹脂埋込装置
化学分析・観察 自動研磨装置
C-20
(県南支援センター)
物理試験・信頼性検査 万能材料試験機(500kN)  金属材料等の強度(引張、圧縮、曲げ)を試験する装置

※は平成27年度新設機器

ラボの機器を利用する場合は、施設機器の利用を御覧ください。