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スパッタリング装置

機器No.1B006C
種 別材料処理機器類(B)
機器名スパッタリング装置
研修時間3時間
研修料金0円/回
使用料1220円/時間
担当部署機械電子技術部
仕 様金属・絶縁物をスパッタし試料にコーティングを行う。
ターゲット寸法:φ80mm
基板電極:φ80mm
到達圧力:6.7×10-4Pa
メーカー及び型式真空機工RFS-200
画 像
備 考