スパッタリング装置

機器No.	1B006C
種　別	材料処理機器類(B)
機器名	スパッタリング装置
研修時間	3時間
研修料金	0円/回
使用料	1240円/時間
担当部署	機械電子技術部
仕　様	金属・絶縁物をスパッタし試料にコーティングを行う。ターゲット寸法:φ80mm 基板電極:φ80mm 到達圧力:6.7×10^-4Pa
メーカー及び型式	真空機工RFS-200
画　像
備　考