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プラズマエッチング装置

機器No.1B013C
種 別材料処理機器類(B)
機器名プラズマエッチング装置
研修時間4時間
研修料金0円/回
使用料2430円/時間
担当部署材料技術部
仕 様反応器:パイレックス製 300mmφ
基板:160mmφ
電極:平行平板型
RF電源:13.56MHz 300W
メーカー及び型式サムコインターナショナル研究所RIE-10N
画 像
備 考