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プラズマCVD

機器No.1B014C
種 別機械加工機器類(A)
機器名プラズマCVD
研修時間4時間
研修料金0円/回
使用料5250円/時間
担当部署材料技術部
仕 様反応器:SUS製
成膜有効面積:100mmφ
電極:平行平板型
RF電源:13.56MHz 450W
メーカー及び型式サムコインターナショナル研究所RIE-10N
画 像
備 考