プラズマ重合装置

機器No.	1B015C
種　別	機械加工機器類(A)
機器名	プラズマ重合装置
研修時間	4時間
研修料金	0円/回
使用料	1270円/時間
担当部署	材料技術部
仕　様	反応器:パイレックス製 220mmφ 基板:100mmφ 電極:平行平板型 RF電源:13.56MHz 200W
メーカー及び型式	サムコインターナショナル研究所RIE-10N
画　像
備　考