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プラズマ重合装置

機器No.1B015C
種 別機械加工機器類(A)
機器名プラズマ重合装置
研修時間4時間
研修料金0円/回
使用料1250円/時間
担当部署材料技術部
仕 様反応器:パイレックス製 220mmφ
基板:100mmφ
電極:平行平板型
RF電源:13.56MHz 200W
メーカー及び型式サムコインターナショナル研究所RIE-10N
画 像
備 考