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走査型イオン顕微鏡

機器No.1D003D
種 別寸法・形状測定 表面観察機器類(D)
機器名走査型イオン顕微鏡
研修時間4時間
研修料金0円/回
使用料12300円/時間
担当部署材料技術部
仕 様Ga液体金属イオン源
加速電圧:5~30kV間で5kVstep
像分解能:5nm以下
メーカー及び型式セイコーインスツルメンツSMI2050
画 像
備 考