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スパッタリング装置
機器No.
1B006C
種 別
材料処理機器類(B)
機器名
スパッタリング装置
研修時間
3時間
研修料金
0円/回
使用料
1240円/時間
担当部署
機械電子技術部
仕 様
金属・絶縁物をスパッタし試料にコーティングを行う。
ターゲット寸法:φ80mm
基板電極:φ80mm
到達圧力:6.7×10
-4
Pa
メーカー及び型式
真空機工RFS-200
画 像
備 考