| 機器名 | 走査型電子顕微鏡（金属観察用） |
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| 概要 | 電子線を金属材料等の試料に照射し、試料表面から放出される二次電子や反射電子を検出することで試料表面の凹凸や組成分布の観察を行う装置です。また、試料表面を観察しながら付属の元素分析装置によって構成元素の分析を行うことが可能です。 |
| 仕様 | 走査型電子顕微鏡：㈱日立ハイテク SU3800 エネルギー分散型X線分析装置：オックスフォード・インストゥルメンツ㈱ AZtecLive Lite Xplore30 分解能：高真空 3nm(30kV)，低真空 4nm(30kV) 倍率：5～300,000倍 加速電圧：0.3kV～30kV 最大試料寸法：200mm径, 80mm高 最大観察可能範囲：127mm径 分析元素範囲：B～Cf |
| 担当部署 | 機械電子技術部 |
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